エスパックス/espaxとは・・・


 ○エスパックスは酸素過電圧電解方式により酸性電解水とアルカリ性電解水を生成する電解装置です。

 ○金属(主に銅)の酸化被膜を除去し、表面性清浄度の向上を目的に利用します。[酸性電解水]

 ○油分残渣、イオン残渣の除去に利用します。[酸性電解水、アルカリ性電解水]

 ○金属、CFRP、Siの加工工程にマイクロバブルを併用して、従来のクーラント液代替として利用します。 [アルカリ性電解水]



エスパックスの特徴

酸性電解水
物 性(生成時)  pH2.7程度 ORP +1000mV以上
特 徴 ○酸性電解水を水道水で希釈すると、10倍希釈でpHは中性域となる = 中和され易く、  環境負荷が無い。 ○鉄、銅、ニッケル等の酸化被膜除去が可能 = 同一pHの塩酸の2倍のスピードで  銅が溶解する。 ○銅素材の脱脂洗浄にも効果がある。 ○除菌効果がある。(開発当初の目的) ○皮膚刺激性、細胞毒性が無い = 安全性が高い。 ○銅を溶解しても緑青(塩基性炭酸塩)を形成しない。   ※希薄食塩水電解の場合、化学式は除菌用電解水同様にHClOを生成します。

         


アルカリ性電解水
物 性(生成時)  pH11.5程度 ORP -800mV 以下
特 徴 ○界面活性効果=脱脂洗浄効果有り = アルカリ性洗剤の代替が可能。 ○水素ナノバブルによるイオンコンタミ除去効果 = espaxアルカリ性電解水には安定した  水素ナノバブルが形成される。 ○空気中の炭酸ガスにより徐々に中和される = 環境負荷が無い。

(洗浄水としては補充量に留意)






電子デバイス(主にプリント配線基板)での利用効果(実績)

  • ○無電解銅メッキ後のメッキ薬品残渣除去効果、有機物除去効果があります。
  • (酸性電解水とアルカリ性電解水の併用)
  • ○アルカリ性電解水により、銅の簡易防錆効果があります。
  • ○酸性電解水には、バフなどの物理研磨後の銅粉除去効果、及び化学研磨後のスマット除去効果が
  •  あります。
  • ○酸性電解水には銅表面の超微細粗化による密着性向上効果があります。




  • ○DFR&PSR現像後の感光性樹脂等の有機物残渣除去効果(デスカム効果)があります。
    • ※酸性電解水利用による有機物スカム除去と銅表面の清浄 化洗浄を同時に行い、
    •  回路形成時の歩留りや、金メッキ未着不良の歩留りを改善します。



  • ○DFR剥離後のアルカリ焼け除去(酸化膜除去)効果=AOI疑似エラー防止効果があります。
    • ※酸性電解水を利用し、剥離後の銅表面のDFRスカム除去と同時にアルカリ焼けの除去が
    •  出来ます。



プリント基板以外での電解水の利用

○アルカリ性電解水による精密洗浄

  • ・精密洗浄の効果は、水素ナノバブルによるイオン残渣除去
  •  効果と、脂肪酸と結合して金属石鹸を形成する事による
  •  脱脂洗浄効果がある
  • ・二流体洗浄のような物理的な力を加えてガラスカレットの
  •  ような微細異物や、Si表面の有機物残渣除去が可能である
    • ※アルカリ性電解水は弱いSi エッチング効果がある
  • ・ワイヤーソー等によるSiカット後のダメージ層の除去が可能
  • (薬品と比較して時間はかかる)
  • ・Si 基板の CMP後の清浄化に効果がある








エスパックス電解水の使用方法

酸性電解水の使用

アルカリ性電解水の使用

装置概要